車(chē)間凈化工程首要的構(gòu)成有些有六大有些，分別為：地上體系、風(fēng)管體系、自控體系、電氣體系、給排水體系、空氣過(guò)濾體系六大有些。地上體系：一般選用環(huán)氧樹(shù)脂潔凈地上。層流手術(shù)室凈化施工 圍護(hù)結(jié)構(gòu)體系：簡(jiǎn)略說(shuō)是頂、墻、地三有些，即構(gòu)成三維密閉空間的六個(gè)面。往細(xì)的說(shuō)包含門(mén)窗、裝修圓弧等；風(fēng)管體系：包含送風(fēng)、回風(fēng)、新風(fēng)、排風(fēng)管道、結(jié)尾及操控設(shè)備等；空調(diào)體系：包含冷（熱）水機(jī)組（包含水泵、冷卻塔等）（或風(fēng)冷管道機(jī)級(jí)等），管路、組合式凈化空調(diào)箱（包含混流段、初效段、加熱段、制冷段、除濕段、加壓段、中效段、靜壓段等）；崇左專(zhuān)業(yè)層流手術(shù)室凈化自控體系：包含溫度操控、溫度操控、風(fēng)量風(fēng)壓操控、開(kāi)啟次序和時(shí)間操控等；空氣過(guò)濾體系：初中高效過(guò)濾器等別的凈化設(shè)備：如臭氧、紫外線(xiàn)燈、風(fēng)淋（包含貨淋）、傳遞窗、超凈工作臺(tái),互聯(lián)鎖等凈化輔佐設(shè)備。
崇左層流手術(shù)室凈化無(wú)塵凈化車(chē)間的溫濕度主要是依據(jù)您的加工工藝請(qǐng)求來(lái)肯定，在滿(mǎn)足加工工藝的條件下，必選應(yīng)該思索人的溫馨感。隨著空氣干凈度請(qǐng)求的進(jìn)步，工藝對(duì)溫濕度的請(qǐng)求也越來(lái)越高，必需到達(dá)一定的溫濕度等級(jí)。例如在大范圍集成電路消費(fèi)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板資料的玻璃與硅片的熱收縮系數(shù)的差請(qǐng)求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就惹起了0.24um線(xiàn)性收縮，所以必需有±0.1度的恒溫，同時(shí)請(qǐng)求濕度值普通較低，由于人出汗以后，對(duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間，專(zhuān)業(yè)層流手術(shù)室凈化這種車(chē)間不宜超越25度?！穸蛇^(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超越55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，假如發(fā)作在精細(xì)安裝或電路中，就會(huì)惹起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。
人員凈化用室和生活用室，應(yīng)符合下列要求：①人員專(zhuān)業(yè)層流手術(shù)室凈化凈化用室的入口處，應(yīng)設(shè)凈鞋器。②存外衣室和潔凈工作服室應(yīng)分別設(shè)置。③外衣存衣柜和潔凈工作服柜應(yīng)按編制人數(shù)每人設(shè)一柜。④盥洗室應(yīng)設(shè)洗手和烘干設(shè)備。⑤水龍頭應(yīng)按最大班人數(shù)每10人設(shè)置一個(gè)。⑥崇左層流手術(shù)室凈化潔凈區(qū)不得設(shè)廁所。⑦人員凈化用室內(nèi)的廁所應(yīng)設(shè)前室。⑧空氣吸淋室應(yīng)設(shè)在潔凈區(qū)人員入口處，并應(yīng)與潔凈工作服室相鄰。⑨單人空氣吹淋室按最大班人數(shù)每30人設(shè)一臺(tái)。⑩當(dāng)僅為100級(jí)垂直層流潔凈室時(shí)，可改設(shè)氣閘室。⑩潔凈區(qū)工作人員超過(guò)5人時(shí)，空氣吹淋室一側(cè)應(yīng)設(shè)旁通門(mén)。
在潔凈室的規(guī)劃中，專(zhuān)業(yè)層流手術(shù)室凈化通常選用間隔方法將空間分紅若干個(gè)小潔凈區(qū)，通常這些房間設(shè)置是密閉狀況，這么做是為了操控外界的污染。1.崇左層流手術(shù)室凈化工業(yè)凈化工程出產(chǎn)中由于高溫的設(shè)備會(huì)不斷排出熱氣，熱氣體排風(fēng)體系可對(duì)其進(jìn)行熱收回處理。當(dāng)有便或是排氣量小時(shí)選用隔熱辦法。2.有些商品在出產(chǎn)過(guò)程中會(huì)排出酸或堿性氣體，選用酸、堿氣體排風(fēng)體系設(shè)置濕式洗氣吸收塔進(jìn)行處理。3.通常排風(fēng)體系將出產(chǎn)過(guò)程中排出的通常廢氣直接排入大氣。4.出產(chǎn)過(guò)程中有時(shí)會(huì)用到各類(lèi)有機(jī)物，這時(shí)會(huì)發(fā)生有機(jī)物質(zhì)的氣體，選用有機(jī)氣體排風(fēng)體系對(duì)其進(jìn)行處理。5.潔凈室內(nèi)，不一樣商品在出產(chǎn)過(guò)程中會(huì)排出不一樣濃度粉塵物質(zhì)，選用含粉塵的排風(fēng)體系對(duì)排出的氣體進(jìn)行過(guò)濾處理。6.工業(yè)凈化工程對(duì)特別成份的商品進(jìn)行出產(chǎn)時(shí)，會(huì)發(fā)生特別氣體，如毒性、腐蝕性等，選用特別氣體排氣體系對(duì)排出氣體進(jìn)行處理，合格后排入潔凈室大氣中。
