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桂林正規(guī)無(wú)塵車(chē)間凈化設(shè)備設(shè)計(jì)

2021-04-13
桂林正規(guī)無(wú)塵車(chē)間凈化設(shè)備設(shè)計(jì)

桂林無(wú)塵車(chē)間凈化設(shè)備潔凈室主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱(chēng)之為潔凈室。按照國(guó)際慣例,正規(guī)無(wú)塵車(chē)間凈化設(shè)備無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個(gè)非 常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的 負(fù)面影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無(wú)塵是必然的要求。

桂林正規(guī)無(wú)塵車(chē)間凈化設(shè)備設(shè)計(jì)

桂林無(wú)塵車(chē)間凈化設(shè)備無(wú)塵凈化車(chē)間的溫濕度主要是依據(jù)您的加工工藝請(qǐng)求來(lái)肯定,在滿(mǎn)足加工工藝的條件下,必選應(yīng)該思索人的溫馨感。隨著空氣干凈度請(qǐng)求的進(jìn)步,工藝對(duì)溫濕度的請(qǐng)求也越來(lái)越高,必需到達(dá)一定的溫濕度等級(jí)。例如在大范圍集成電路消費(fèi)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板資料的玻璃與硅片的熱收縮系數(shù)的差請(qǐng)求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就惹起了0.24um線性收縮,所以必需有±0.1度的恒溫,同時(shí)請(qǐng)求濕度值普通較低,由于人出汗以后,對(duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間,正規(guī)無(wú)塵車(chē)間凈化設(shè)備這種車(chē)間不宜超越25度?!穸蛇^(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超越55%時(shí),冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露,假如發(fā)作在精細(xì)安裝或電路中,就會(huì)惹起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。

桂林正規(guī)無(wú)塵車(chē)間凈化設(shè)備設(shè)計(jì)

桂林無(wú)塵車(chē)間凈化設(shè)備無(wú)塵車(chē)間的圍護(hù)結(jié)構(gòu)和室內(nèi)裝修材料宜選用氣密性良好,同時(shí)在溫度、濕度等變化時(shí),本身變形小的材料;墻壁和頂棚表面應(yīng)光潔平整、不起灰、不落塵、耐腐蝕、耐沖擊、易清洗。為了使無(wú)塵車(chē)間的建筑表面盡量少積灰、易清掃,應(yīng)在建筑構(gòu)造上避免或減少凹凸面,墻面與地面、墻面與頂棚、墻面與墻面的相接處也不宜做成一般的直角,宜做成半徑大于或等于50mm的圓角。正規(guī)無(wú)塵車(chē)間凈化設(shè)備壁面涂層的色彩要和諧、雅致、素淡,以便于顯現(xiàn)壁面上的污染物。同樣,地面也應(yīng)做到平整、無(wú)縫隙、耐磨、耐腐蝕、耐沖擊、不積聚靜電、易除塵清洗。

桂林正規(guī)無(wú)塵車(chē)間凈化設(shè)備設(shè)計(jì)

1、吊頂需是專(zhuān)為正規(guī)無(wú)塵車(chē)間凈化設(shè)備無(wú)塵車(chē)間工程設(shè)計(jì)的系統(tǒng),以便于安裝簡(jiǎn)易快速、堅(jiān)固、美觀。有干、濕兩類(lèi)。干吊頂用于高效過(guò)濾風(fēng)機(jī)系統(tǒng),濕系統(tǒng)用于回風(fēng)空調(diào)箱帶高效過(guò)濾風(fēng)口系統(tǒng)。2、濕吊頂須用密封膠密封。3、桂林無(wú)塵車(chē)間凈化設(shè)備無(wú)塵車(chē)間工程中的車(chē)間墻為鋁合金板材,拆裝靈活。4、提升地板根據(jù)潔凈等級(jí)對(duì)換氣次數(shù)的要求不同,帶孔板的覆蓋率不同。安裝提升地板時(shí),應(yīng)先確定立柱的定位,用專(zhuān)用膠將柱固定在環(huán)氧地面上,并在膠干后測(cè)試其牢固程度。5、所有提升地板內(nèi)管線不可在安裝立柱前施工。

桂林正規(guī)無(wú)塵車(chē)間凈化設(shè)備設(shè)計(jì)

防止從相鄰的潔凈度較低區(qū)域向無(wú)塵室傳達(dá)污染的首要辦法是:保持高潔凈度區(qū)域有關(guān)于低潔凈度區(qū)域、無(wú)塵車(chē)間凈化設(shè)備設(shè)計(jì)低潔凈度區(qū)域有關(guān)于效勞區(qū)域、效勞區(qū)域有關(guān)于室外有一個(gè)適宜的正壓值。這么就可削減由室外向效勞區(qū)域,效勞區(qū)域向低等級(jí)無(wú)塵室,低等級(jí)無(wú)塵室向高等級(jí)桂林正規(guī)無(wú)塵車(chē)間凈化設(shè)備無(wú)塵室傳達(dá)空氣中的懸浮污染物。正壓值并非越大越好,很多理論研討和實(shí)習(xí)都證實(shí),人員、物料經(jīng)過(guò)門(mén)時(shí),即使門(mén)兩邊關(guān)門(mén)壓差高達(dá)50Pa~60Pa,仍難肯定防止隨人員、物料向內(nèi)移動(dòng)時(shí)的帶著氣流將污染帶入室內(nèi)。特別是當(dāng)門(mén)兩邊存在溫度差時(shí),門(mén)打開(kāi)后,即使無(wú)人走動(dòng),在開(kāi)口斷面有些面積上也存在逆向氣流,帶入空氣的污染物。

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