無(wú)塵室空調(diào)送風(fēng)體系的結(jié)尾設(shè)備--高效空氣過(guò)濾器或超高效空氣過(guò)濾器，在正常狀況下能有用過(guò)濾經(jīng)空調(diào)機(jī)組處理的新風(fēng)和回風(fēng)中的顆粒污染物。正規(guī)無(wú)塵車(chē)間凈化板經(jīng)高效、超高效空氣過(guò)濾器處理后的潔凈空氣送入室內(nèi)，可有用地排替、沖淡室內(nèi)污染物，河池正規(guī)無(wú)塵車(chē)間凈化板以保持室內(nèi)的潔凈度。但末級(jí)過(guò)濾器如有破損或過(guò)濾器與支持結(jié)構(gòu)間的密封呈現(xiàn)裂隙，氣密性失效，那么未經(jīng)高效空氣過(guò)濾器過(guò)濾的空氣就也許帶著很多污染粒子進(jìn)入室內(nèi)并隨氣流分散，損害影響規(guī)模較大。因而無(wú)塵室投入運(yùn)用前的末級(jí)過(guò)濾器檢漏、堵漏或替換作業(yè)十分首要。作業(yè)進(jìn)程中防備末級(jí)過(guò)濾器受損，也十分首要。

正規(guī)無(wú)塵車(chē)間凈化板凈化工程車(chē)間中怎樣有效的防止靜電產(chǎn)生?首先，從靜電產(chǎn)生的機(jī)理來(lái)看，應(yīng)該從降低有關(guān)物體的絕緣度著手，使兩物體即使摩擦也不產(chǎn)生和少產(chǎn)生靜電，對(duì)此有以下一些主要措施：1.保持環(huán)境有一定的濕度。2.河池無(wú)塵車(chē)間凈化板鋪設(shè)防靜電地板或地毯。目前已有這種具有一定導(dǎo)電性能的塑料地板或地毯產(chǎn)品，能十分有效抑制由于人的行走產(chǎn)生靜電。3.使用離子風(fēng)槍、離子頭、離子棒等設(shè)施，使在一定范圍內(nèi)防止靜電產(chǎn)生。4.半導(dǎo)體器件應(yīng)盛放在防靜電塑料盛放器或防靜電塑料袋中，這種防靜電盛放器有良好導(dǎo)電性能，能有效防止靜電的產(chǎn)生。當(dāng)然，有條件的應(yīng)盛放在金屬盛放器內(nèi)或用金屬箔包裝。5.對(duì)于操作人員應(yīng)在手腕上帶防靜電手帶，這種手帶應(yīng)有良好的接地性能，這種措施極為有效。

河池無(wú)塵車(chē)間凈化板無(wú)塵凈化車(chē)間的溫濕度主要是依據(jù)您的加工工藝請(qǐng)求來(lái)肯定，在滿(mǎn)足加工工藝的條件下，必選應(yīng)該思索人的溫馨感。隨著空氣干凈度請(qǐng)求的進(jìn)步，工藝對(duì)溫濕度的請(qǐng)求也越來(lái)越高，必需到達(dá)一定的溫濕度等級(jí)。例如在大范圍集成電路消費(fèi)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板資料的玻璃與硅片的熱收縮系數(shù)的差請(qǐng)求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就惹起了0.24um線性收縮，所以必需有±0.1度的恒溫，同時(shí)請(qǐng)求濕度值普通較低，由于人出汗以后，對(duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間，正規(guī)無(wú)塵車(chē)間凈化板這種車(chē)間不宜超越25度?！穸蛇^(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超越55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，假如發(fā)作在精細(xì)安裝或電路中，就會(huì)惹起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。

河池無(wú)塵車(chē)間凈化板潔凈度等級(jí)請(qǐng)求高,風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)按需受控,照度、潔凈室截面風(fēng)速按規(guī)劃或標(biāo)準(zhǔn)受控，另外該類(lèi)潔凈室對(duì)靜電請(qǐng)求極端嚴(yán)厲。其間對(duì)濕度的請(qǐng)求尤甚。由于過(guò)于枯燥的廠房?jī)?nèi)很容易產(chǎn)生靜電，形成CMOS集成損壞。一般來(lái)說(shuō)，正規(guī)無(wú)塵車(chē)間凈化板電子廠房的溫度應(yīng)操控在22℃左右，相對(duì)濕度操控在50-60%之間（特別無(wú)塵車(chē)間有有關(guān)溫濕度規(guī)則）。 這時(shí)可有效地消除靜電，并使人也感受舒服。芯片出產(chǎn)車(chē)間、集成電路無(wú)塵室和磁盤(pán)制作車(chē)間是歸于電子制作職業(yè)潔凈室的重要組成有些，由于電子產(chǎn)品在制作、出產(chǎn)進(jìn)程中對(duì)室內(nèi)空氣環(huán)境和質(zhì)量的請(qǐng)求極為嚴(yán)厲，首要以操控微粒和浮塵為首要目標(biāo)，同時(shí)還對(duì)其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴(yán)厲的規(guī)則。