潔凈室或潔凈設施溫、濕度測定，凈化車間施工通常分為兩個檔次：一般測試和綜合測試。第一個檔次適用于處于空態(tài)的交竣驗收測試，第二個檔次適用于靜態(tài)或動態(tài)的綜合性能測試。這類測試適用于對溫度、濕度性能要求比較嚴格的場合。本檢測在氣流均勻性檢測之后和空調系統(tǒng)調整之后進行。進行這項檢測時，空調系統(tǒng)已經(jīng)充分運轉，各項狀況已經(jīng)穩(wěn)定。來賓凈化車間每個濕度控制區(qū)至少設置一個濕度傳感器，并且給傳感器充分的穩(wěn)定時間。所做測量應適合實際使用的目的，待傳感器穩(wěn)定之后才開始測量，測量時間不少于5分鐘。

優(yōu)質凈化車間無塵車間裝修標準按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂凈化車間施工無塵并非100%沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對于光學構造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負面影響,所以在光學構造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無塵是必然的要求。每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下,就達到了國際無塵標準的A級。目前應用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。

防止從相鄰的潔凈度較低區(qū)域向無塵室傳達污染的首要辦法是：保持高潔凈度區(qū)域有關于低潔凈度區(qū)域、凈化車間施工低潔凈度區(qū)域有關于效勞區(qū)域、效勞區(qū)域有關于室外有一個適宜的正壓值。這么就可削減由室外向效勞區(qū)域，效勞區(qū)域向低等級無塵室，低等級無塵室向高等級來賓優(yōu)質凈化車間無塵室傳達空氣中的懸浮污染物。正壓值并非越大越好，很多理論研討和實習都證實，人員、物料經(jīng)過門時，即使門兩邊關門壓差高達50Pa~60Pa，仍難肯定防止隨人員、物料向內(nèi)移動時的帶著氣流將污染帶入室內(nèi)。特別是當門兩邊存在溫度差時，門打開后，即使無人走動，在開口斷面有些面積上也存在逆向氣流，帶入空氣的污染物。

來賓優(yōu)質凈化車間清潔潔凈室內(nèi)的墻時應使用潔凈室無塵布，使用已獲批準的潔凈室專用去污劑，每天都要檢查車間和整備間的垃圾箱，并及時清走。每塊地板都要吸塵，每次交接班時，凈化車間施工清潔潔凈室的地面應使用專用拖把。在潔凈室里吸塵應使用帶有高效過濾器的專用真空吸塵器。所有的門都需要檢查并擦干吸完地以后再擦地。一周擦一次墻面。架空地板下也要吸塵及擦拭。工作時一定要記住，永遠是由上往下擦，從離門最遠的地方向門的方向擦。潔凈三個月擦一次架空地板底下的柱子和支撐柱。